洁净室的污染源主要有四种，分别如下：
1、大气尘（新风）
室外大气的含尘浓度
地区 | 计重浓度 | 计数浓度(≥0.5μm) | |
mg/m3 | 个/L | 个/ m3 | |
市区 | 0.1~0.35 | 5x104~23.3x104 | 15x105~70x105 |
郊区 | 0.05~0.3 | 2x104~10x104 | 10x105~30x105 |
农村 | 0.01~0.1 | 1x104~3.3x105 | 3x105~10x105 |
2、作业人员发尘（主要尘源）
作业人员发尘量(一)｛粒/（人?min）≥0.5μm｝
序号 | 人员动作 | 普通工作服 | 洁净工作服 | |
分套型 | 全套型 | |||
1 | 立 | 339000 | 113000 | 5580 |
2 | 坐 | 302000 | 112000 | 7420 |
3 | 臂上下运动 | 2980000 | 298000 | 18600 |
4 | 上体前屈 | 2240000 | 538000 | 24200 |
5 | 臂自由运动 | 2240000 | 298000 | 20600 |
6 | 头部运动 | 631000 | 151000 | 11000 |
7 | 上体转动 | 850000 | 266000 | 14900 |
8 | 屈身 | 3120000 | 605000 | 37400 |
9 | 踏步 | 2800000 | 861000 | 44600 |
10 | 步行 | 2920000 | 1010000 | 56000 |
作业人员发尘量(二)｛粒/（人?min）≥0.5μm｝
序号 | 工作服型式及材料 | 动作 | |
坐(四肢、头部自由活动) | 走动 | ||
1 | 全套型粗织尼龙工作服 | 38.3x104 | 322x104 |
2 | 分套型密织尼龙工作服 | 18.1x104 | 128x104 |
3 | 分套型密织尼龙工作服 内衬的确良工作服 | 7.2x104 | 73.8x104 |
4 | 棉的确良工作服 | 20.5x104 | 108x104 |
5 | 电力纺工作服 | 101x104 | 677x104 |
6 | 普通服装 | 210x104 | 300x104 |
3、建筑围护结构产尘（屋顶、墙、地板）
洁净室建筑表面发尘量｛粒/（min?┫地面）≥0.5μm｝
序号 | 建筑表面发尘量 | 资料来源 |
1 | （0.8~1）*104 | 电子部十一院《设计通讯》1975年 |
2 | （0.3~0.9）*104 | 电子部十一院《苏州半导体器件一厂洁净室测定》1978年 |
3 | 0.77*104 | 电子部十一院《北京西城半导体材料厂水平层流洁净室测定报告》1975 |
4 | 4.5*104 | 电子部十一院《出国考察报告》(74)013 1974年 |
洁净室建筑表面发尘量与作业人员发尘量的比较
项目 粒径 | 洁净室建筑表面发尘量 ｛粒/（min?┫地面）｝ | 人员发尘量｛粒/(人?min)｝ | |
静止(基本静止) | 人员正常操作 | ||
≥0.5μm | 1.25*104 | 10*104 | 50*104 |
4、工艺生产过程产尘（与生产设备、生产工艺、生产过程有关，不同的生产过程、工艺产尘量不同）
